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发明名称 MANUFACTURE OF SOI SUBSTRATE
摘要
申请公布号 JPH1197377(A) 申请公布日期 1999.04.09
申请号 JP19970274978 申请日期 1997.09.24
申请人 NEC CORP 发明人 OGURA ATSUSHI
分类号 H01L21/265;H01L21/02;H01L21/762;H01L27/12;(IPC1-7):H01L21/265 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
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