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发明名称 PLASMA TREATMENT DEVICE
摘要
申请公布号 JPH1197197(A) 申请公布日期 1999.04.09
申请号 JP19970270453 申请日期 1997.09.16
申请人 TOKYO ELECTRON LTD 发明人 AMANO HIDEAKI;TOZAWA MASANORI
分类号 H05H1/46;C23C16/50;C23C16/511;H01L21/205;H01L21/31;(IPC1-7):H05H1/46 主分类号 H05H1/46
代理机构 代理人
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