| 发明名称 |
ANALYTICAL ELECTRON MICROSCOPE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH1196958(A) |
申请公布日期 |
1999.04.09 |
| 申请号 |
JP19970254858 |
申请日期 |
1997.09.19 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
SATO YUJI;ISAGOZAWA SHIGETO;SHIMOYAMA WATARU |
| 分类号 |
H01J37/22;G21K7/00;H01J37/252;(IPC1-7):H01J37/252 |
主分类号 |
H01J37/22 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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