| 发明名称 |
QUALITY CONTROL METHOD IN PROCESS OF MANUFACTURING ETCHING PRODUCT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH1196905(A) |
申请公布日期 |
1999.04.09 |
| 申请号 |
JP19970278222 |
申请日期 |
1997.09.24 |
| 申请人 |
DAINIPPON SCREEN MFG CO LTD |
发明人 |
ITO MASAKUNI;KATAYAMA MASAHARU |
| 分类号 |
C23F1/00;H01J9/14;H01L23/50;(IPC1-7):H01J9/14 |
主分类号 |
C23F1/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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