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发明名称 METHOD OF FORMING CONTACT PLUG AND ITS DEVICE
摘要
申请公布号 JPH1197390(A) 申请公布日期 1999.04.09
申请号 JP19970254593 申请日期 1997.09.19
申请人 NEC CORP 发明人 OOTO KOICHI
分类号 H01L21/285;H01L21/28;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/285 主分类号 H01L21/285
代理机构 代理人
主权项
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