| 发明名称 |
MULTIBEAM EXPOSURE DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH1195140(A) |
申请公布日期 |
1999.04.09 |
| 申请号 |
JP19970257350 |
申请日期 |
1997.09.22 |
| 申请人 |
TOSHIBA CORP |
发明人 |
SHIRAISHI TAKASHI;YAMAGUCHI MASAO;FUKUTOME YASUYUKI |
| 分类号 |
G02B26/10;G02B26/12;(IPC1-7):G02B26/10 |
主分类号 |
G02B26/10 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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