发明名称 METHOD AND DEVICE FOR RADIATING HIGHLY STABLE CHARGED PARTICLE BEAM
摘要
申请公布号 JPH1196950(A) 申请公布日期 1999.04.09
申请号 JP19970259530 申请日期 1997.09.25
申请人 HITACHI LTD 发明人 NOMURA SADAO
分类号 H01J27/26;H01J37/04;H01J37/073;H01J37/08;(IPC1-7):H01J37/04 主分类号 H01J27/26
代理机构 代理人
主权项
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