发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH1197548(A) 申请公布日期 1999.04.09
申请号 JP19970273967 申请日期 1997.09.19
申请人 NEC CORP 发明人 SEGAWA MACHIO
分类号 H01L21/3205;H01L21/82;H01L21/822;H01L27/04;(IPC1-7):H01L21/82;H01L21/320 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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