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发明名称 Verfahren zur plasmaunterstützten chemischen Abscheidung aus der Dampfphase
摘要
申请公布号 DE69503296(T2) 申请公布日期 1999.04.08
申请号 DE19956003296T 申请日期 1995.04.18
申请人 THE BOC GROUP, INC., MURRAY HILL, N.J., US 发明人 LOPATA, EUGENE S., UNION CITY, CA 94587, US;NAKANISHI, JOHN S., UNION CITY, CA 94587, US
分类号 C03C17/30;C09D183/00;C23C16/30;C23C16/50;(IPC1-7):C23C16/30;B05D3/00;B05D3/06 主分类号 C03C17/30
代理机构 代理人
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