| 摘要 |
<p>Bei der Plasmakurzzeitverdampfung werden Feststoffe in ein Aerosol überführt und das Aerosol in ein induktiv gekoppeltes Plasma (7) eingebracht, wobei durch Verdampfung aus dem Plasma ein Substrat beschichtet wird. Erfindungsgemäß erfolgt die Beschichtung weitgehend allein aus der Dampfphase und gelangen keine feste und/oder flüssige Partikel auf das Substrat. Bei der zugehörigen Vorrichtung mit einem Plasmabrenner (1) und einem demgegenüber beweglich angeordneten Substrathalter (30) zur Beschichtung eines auf dem Substrathalter als Substrat angeordneten Gegenstandes, ist der Substrathalter (30) gegenüber dem Plasmabrenner (1) derart orientiert, daß die Substratoberfläche (34) parallel zur Strömungsrichtung des Plasmas (7) verläuft.</p> |
