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发明名称 VERFAHREN ZUR BILDUNG EINES SILICIUMOXID-FILMES
摘要
申请公布号 DE69130947(D1) 申请公布日期 1999.04.08
申请号 DE19916030947 申请日期 1991.12.19
申请人 FUJITSU LTD., KAWASAKI, KANAGAWA, JP;FUJITSU VLSI LTD., KASUGAI, AICHI, JP 发明人 TSUKUNE, ATSUHIRO, NAKAHARA-KU KAWASAKI-SHI KANAGAWA 211, JP;FURUMURA, YUJI, NAKAHARA-KU KAWASAKI-SHI KANAGAWA 211, JP;HATANAKA, MASANOBU, NAKAHARA-KU KAWASAKI-SHI KANAGAWA 211, JP
分类号 H01L21/312;H01L21/316;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/312;C23C16/56 主分类号 H01L21/312
代理机构 代理人
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