铜/聚酰亚胺BEOL中的堆叠通孔

摘要

一种通过另一互连级连接垂直相隔的两个互连级的方法,通过形成要制成接触的第一互连区、在该互连区上形成第一绝缘区、在第一绝缘层上形成一腐蚀终止层、腐蚀腐蚀终止层以在第一互连区上一位置处形成一开口实现,形成与第一绝缘层接触并在第一互连区上的第二互连区,在第一绝缘层和腐蚀终止层上形成第二绝缘层,在第二绝缘层内形成开口,第二绝缘层内的开口覆盖腐蚀终止层内的开口,延伸第二绝缘层内的开口通过第一绝缘层,用导体填充第一和第二绝缘层内的开口,在第一互连区和第二绝缘层上的区域之间形成连接。

主权项

1．一种通过另一互连级连接垂直地相隔的两个互连级的方法，特征在于包括以下步骤：a)形成要制成接触的第一互连区；b)在该互连区上形成第一绝缘区；c)在第一绝缘层上形成一腐蚀终止层；d)腐蚀腐蚀终止层以在所述第一互连区上一位置处形成一开口；e)形成与所述第一绝缘层接触并在所述第一互连区上的第二互连区；f)在所述第一绝缘层和所述腐蚀终止层上形成第二绝缘层；g)在所述第二绝缘层内形成一开口，在所述第二绝缘层内的所述开口覆盖腐蚀终止层内的所述开口；h)延伸所述第二绝缘层内的所述开口通过所述第一绝缘层；以及i)用导体填充所述第一和第二绝缘层内的开口，在所述第一互连区和所述第二绝缘层上的区域之间形成连接。