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发明名称 GAS DELIVERY SYSTEMS FOR PARTICLE BEAM PROCESSING
摘要
申请公布号 EP0906637(A1) 申请公布日期 1999.04.07
申请号 EP19970926747 申请日期 1997.05.28
申请人 MICRION CORPORATION 发明人 CASELLA, ROBERT, A.;LIBBY, CHARLES, J.;RATHMELL, GARY, P.
分类号 H01J37/30;H01J37/305;H01J37/317;H01L21/302;(IPC1-7):H01J37/30 主分类号 H01J37/30
代理机构 代理人
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