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发明名称 ETCHING METHOD
摘要
申请公布号 JPH1192967(A) 申请公布日期 1999.04.06
申请号 JP19970247377 申请日期 1997.09.12
申请人 CHUO KAGAKU SANGYO KK;KYODEN:KK 发明人 KIUCHI TAKESHI
分类号 C23F1/16;C23F1/46;H05K3/06;(IPC1-7):C23F1/16 主分类号 C23F1/16
代理机构 代理人
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