| 发明名称 |
METALLIC ION PLASMA GENERATING DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH1192919(A) |
申请公布日期 |
1999.04.06 |
| 申请号 |
JP19980211412 |
申请日期 |
1998.07.27 |
| 申请人 |
KOBE STEEL LTD |
发明人 |
MUNEMASA ATSUSHI;AREKISANDAA ERUKINDO;JIEEMUZU AARU TOREGURIO |
| 分类号 |
C23C14/24;C23C14/32;H01J27/04;H01J37/32;(IPC1-7):C23C14/24 |
主分类号 |
C23C14/24 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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