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发明名称
METHOD FOR PACKING MICRORECESSES AND APPARATUS THEREFOR
摘要
申请公布号
JPH1192955(A)
申请公布日期
1999.04.06
申请号
JP19970269301
申请日期
1997.09.16
申请人
EBARA CORP
发明人
KOGURE NAOAKI
分类号
C23C18/16;C23C18/31;C25D3/38;C25D5/48;C25D7/12;H01L21/288;H01L21/3205;(IPC1-7):C23C18/31;H01L21/320
主分类号
C23C18/16
代理机构
代理人
主权项
地址
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