| 发明名称 |
HOLLOW CATHODE DEVICE FOR FILM-FORMING |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH1192921(A) |
申请公布日期 |
1999.04.06 |
| 申请号 |
JP19970254890 |
申请日期 |
1997.09.19 |
| 申请人 |
ULVAC CORP |
发明人 |
HIBINO YUKINOBU;HAKOMORI MUNEHITO;KURAUCHI TOSHIHARU |
| 分类号 |
H05H1/48;C23C14/32;H01L21/203;(IPC1-7):C23C14/32 |
主分类号 |
H05H1/48 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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