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发明名称 COATING APPARATUS AND METHOD
摘要
申请公布号 JPH1190295(A) 申请公布日期 1999.04.06
申请号 JP19970253675 申请日期 1997.09.18
申请人 HIRATA CORP 发明人 HARUKAWA SUMIO
分类号 G02F1/13;B05C5/02;B05D1/26;B05D3/00;H01L21/31;H05K3/06;H05K3/28;(IPC1-7):B05C5/02 主分类号 G02F1/13
代理机构 代理人
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