| 发明名称 |
MANUFACTURE OF INORGANIC FINE-GRAIN ULTRATHIN FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH1190213(A) |
申请公布日期 |
1999.04.06 |
| 申请号 |
JP19970253835 |
申请日期 |
1997.09.18 |
| 申请人 |
TOKUYAMA CORP |
发明人 |
KUNITAKE TOYOKI;KIMIZUKA NOBUO;FUJIKAWA SHIGENORI;SHIMIZU MASASHI |
| 分类号 |
B01J19/00;(IPC1-7):B01J19/00 |
主分类号 |
B01J19/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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