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发明名称 METHOD FOR PACKING MICRORECESSES AND APPARATUS THEREFOR
摘要
申请公布号 JPH1192954(A) 申请公布日期 1999.04.06
申请号 JP19970269308 申请日期 1997.09.16
申请人 EBARA CORP 发明人 KOGURE NAOAKI
分类号 C23C18/16;C23C18/31;C25D3/38;C25D5/48;C25D7/12;H01L21/288;H01L21/3205;(IPC1-7):C23C18/31;H01L21/320 主分类号 C23C18/16
代理机构 代理人
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