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发明名称 LIQUID MATERIAL VAPORIZING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH1192938(A) 申请公布日期 1999.04.06
申请号 JP19970254601 申请日期 1997.09.19
申请人 SHIMADZU CORP 发明人 YOSHIOKA NAOMI
分类号 B01J7/00;C23C16/44;C23C16/448;H01L21/31;(IPC1-7):C23C16/44 主分类号 B01J7/00
代理机构 代理人
主权项
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