| 发明名称 |
VACUUM FLANGE AND VACUUM CONTAINER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH1190208(A) |
申请公布日期 |
1999.04.06 |
| 申请号 |
JP19970258385 |
申请日期 |
1997.09.24 |
| 申请人 |
SHIBAURA MECHATRONICS CORP |
发明人 |
TAKAHASHI KIYOSHI |
| 分类号 |
B01J3/03;C23C14/34;C23C14/56;C23F4/00;H01L21/31;(IPC1-7):B01J3/03 |
主分类号 |
B01J3/03 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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