发明名称 PULLING-UP OF SINGLE CRYSTAL AND HOLDING DEVICE OF SINGLE CRYSTAL
摘要
申请公布号 JPH1192278(A) 申请公布日期 1999.04.06
申请号 JP19980208360 申请日期 1998.07.23
申请人 KOMATSU ELECTRON METALS CO LTD 发明人 KUROSAKA SHOEI;INAGAKI HIROSHI;KAWASHIMA SHIGEKI;TOMIOKA JUNSUKE
分类号 C30B15/22;C30B15/30;C30B29/06;(IPC1-7):C30B15/22 主分类号 C30B15/22
代理机构 代理人
主权项
地址