发明名称
摘要
申请公布号 JP2878737(B2) 申请公布日期 1999.04.05
申请号 JP19890303274 申请日期 1989.11.24
申请人 TOSHIBA KK 发明人 ONGA SHINJI
分类号 H01L21/66;G05B15/02;H01L21/00;(IPC1-7):G05B15/02 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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