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发明名称
摘要
申请公布号 JP2878706(B2) 申请公布日期 1999.04.05
申请号 JP19890081955 申请日期 1989.03.31
申请人 TOSHIBA KK 发明人 YAMAZAKI MUTSUKI;YOSHINO HISASHI
分类号 C30B29/22;H01B12/06;H01L39/02;(IPC1-7):H01L39/02 主分类号 C30B29/22
代理机构 代理人
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