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发明名称 POSITIVE-TYPE PHOTORESIST COMPOSITION
摘要
申请公布号 KR0185994(B1) 申请公布日期 1999.04.01
申请号 KR19910015989 申请日期 1991.09.13
申请人 FUJI PHOTO FILM CO., LTD. 发明人 SAKAGUCHI, SHINJI;TAN, SHIRO;KOKUBO, TADAYOSHI
分类号 G03F7/004;G03F7/022;G03F7/023;H01L21/027;H01L21/30;(IPC1-7):G03F7/22 主分类号 G03F7/004
代理机构 代理人
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