发明名称 GREIFER FÜR SCHEIBENFÖRMIGE GEGENSTÄNDE
摘要
申请公布号 DE59407850(D1) 申请公布日期 1999.04.01
申请号 DE1994507850 申请日期 1994.10.20
申请人 SEZ SEMICONDUCTOR-EQUIPMENT ZUBEHOER FUER DIE HALBLEITERFERTIGUNG AG, VILLACH, AT 发明人 SUMNITSCH, FRANZ, A-9020 KLAGENFURT, AT
分类号 H01L21/677;B25J15/02;B25J15/08;B65G49/07;H01L21/00;H01L21/68;H01L21/687;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 H01L21/677
代理机构 代理人
主权项
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