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发明名称 Substrattemperatur-Meßvorrichtung, Substrattemperatur-Meßverfahren Substraterwärmungsverfahren und Wärmebehandlungsvorrichtung
摘要
申请公布号 DE19880398(T1) 申请公布日期 1999.04.01
申请号 DE19981080398T 申请日期 1998.02.26
申请人 SONY CORP., TOKIO/TOKYO, JP;STEAG AST ELEKTRONIK GMBH, 85551 KIRCHHEIM, DE 发明人 YANAGAWA, SYUSAKU, TOKIO/TOKYO, JP;BLERSH, WERNER, 36275 KIRCHHEIM, DE
分类号 G01K1/16;G01K1/20;G01K7/02;H01L21/00;H01L21/66;(IPC1-7):G01K13/00;G01K11/12;H01L21/324 主分类号 G01K1/16
代理机构 代理人
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