发明名称 APPARATUS FOR MANUFACTURING A SEMICONDUCTOR USING A VACUUM TWEEZER
摘要
申请公布号 KR0175013(B1) 申请公布日期 1999.04.01
申请号 KR19950029834 申请日期 1995.09.13
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人
分类号 B25J15/06;B65G49/07;H01L21/02;H01L21/677;H01L21/683;(IPC1-7):H01L21/02 主分类号 B25J15/06
代理机构 代理人
主权项
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