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发明名称 METHOD AND ARRANGEMENT FOR DRYING SUBSTRATES AFTER TREATMENT IN A LIQUID
摘要
申请公布号 KR0173449(B1) 申请公布日期 1999.04.01
申请号 KR19900002291 申请日期 1990.02.23
申请人 N.V. PHILIPS' GLOEILAMPENFABRIEKEN 发明人 LEENAARS, ADRIAAN FRANCISCUS MARIA;VAN OEKEL, JACQUES JULES
分类号 B08B3/08;H01L21/00;H01L21/304;H01L21/306;(IPC1-7):H01L21/302 主分类号 B08B3/08
代理机构 代理人
主权项
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