| 发明名称 |
HALFTONE PHASE SHIFTING MASK AND THE MANUFACTURING METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR0183891(B1) |
申请公布日期 |
1999.04.01 |
| 申请号 |
KR19960023682 |
申请日期 |
1996.06.25 |
| 申请人 |
SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. |
发明人 |
WOO, SANG-KYUN |
| 分类号 |
G03F1/32;G03F1/26;(IPC1-7):G03F1/08 |
主分类号 |
G03F1/32 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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