发明名称 TRENCH ISOLATION METHOD OF A SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR0175041(B1) 申请公布日期 1999.04.01
申请号 KR19960001295 申请日期 1996.01.22
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人
分类号 H01L21/76;(IPC1-7):H01L21/76 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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