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发明名称 DRY ETCHING METHOD
摘要
申请公布号 KR0174777(B1) 申请公布日期 1999.04.01
申请号 KR19950014670 申请日期 1995.06.02
申请人 NIPPON TELEGRAPH AND TELEPHONE CORPORATOIN;TOKYO ELECTRON LTD. 发明人 SATO, MASAAKI;ARITA, YOSHINOBU;OGASAWARA, MASAHIRO;SATOH, HIDENORI;KANBARA, HIROMITSU
分类号 C23F1/12;C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/311;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 C23F1/12
代理机构 代理人
主权项
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