| 发明名称 |
METHOD FOR MANUFACTURING A METAL INTERCONNECTION BY AN ELECTRON BEAM EXPOSURE ENERGY AND LIFT-OFF METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR0174869(B1) |
申请公布日期 |
1999.04.01 |
| 申请号 |
KR19950052677 |
申请日期 |
1995.12.20 |
| 申请人 |
KOREA ELECTRONICS & TELECOMMUNICATIONS RESEARCH INSTITUTE |
发明人 |
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| 分类号 |
H01L21/28;(IPC1-7):H01L21/28 |
主分类号 |
H01L21/28 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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