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发明名称 METHOD FOR MANUFACTURING A TITANIUM NITRIDE THIN FILM
摘要
申请公布号 KR0175011(B1) 申请公布日期 1999.04.01
申请号 KR19950026711 申请日期 1995.08.26
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人
分类号 H01L21/20;(IPC1-7):H01L21/20 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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