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发明名称
METHOD FOR FORMING PLATINUM THIN FILM ON SILICON WAFER, SILICON SUBSTRATE USING THE METHOD AND SEMICONDUCTOR DEVICE USING THE SILICON SUBSTRATE
摘要
申请公布号
KR0174594(B1)
申请公布日期
1999.04.01
申请号
KR19950040450
申请日期
1995.11.09
申请人
TONG YANG CEMENT CORP.
发明人
分类号
H01L21/285;H01L21/203;H01L21/28;H01L21/288;H01L21/316;H01L21/3205;H01L41/08;H01L41/09;(IPC1-7):H01L21/285
主分类号
H01L21/285
代理机构
代理人
主权项
地址
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