回收氟化合物的低温精馏系统

摘要

用于回收来自包括三个低温精馏塔和传质接触装置的半导体设备载气流如流出物流中氟化合物的低温系统。

主权项

1．回收氟化合物的方法，该法包括：(A)使含有载气和高挥发性氟化合物的气体进料进入传质接触装置，并使洗液进入传质接触装置；(B)使高挥发性氟化合物进入传质接触装置内的洗液中产生含载气的蒸汽和含高挥发性氟化合物的洗液；(C)使含有高挥发性氟化合物的洗液作为第一塔的进料送入第一精馏塔，和把第一塔进料在所述第一精馏塔内通过低温精馏分离成为含高挥发性氟化合物的顶部流体和第一塔底部流体；(D)使含有低挥发性氟化合物的第一塔底部流体作为第二塔进料进入第二精馏塔，通过低温精馏把第二塔进料分离成为第二塔顶部流体和第二塔底部流体，并且使第二塔顶部流体作为洗液进入传质接触装置；(E)使含有高挥发性氟化合物的顶部流体作为第三塔进料进入第三精馏塔并通过低温精馏分离第三塔进料成为第三塔顶部蒸汽和高挥发性氟化合物产品；和(F)从第三精馏塔回收高挥发性氟化合物。