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发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR MATCHING A VARIABLE LOAD IMPEDANCE WITH AN RF POWER GENERATOR IMPEDANCE
摘要
申请公布号 EP0904634(A1) 申请公布日期 1999.03.31
申请号 EP19970931168 申请日期 1997.06.11
申请人 RF POWER PRODUCTS, INC. 发明人 MAVRETIC, ANTON;CISZEK, ANDREW;STACH, JOSEPH
分类号 H03H7/40;(IPC1-7):H03H7/40 主分类号 H03H7/40
代理机构 代理人
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