Low cost corona pre-ionizer for a laser,申请号EP19970101916-传众专利搜索

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发明名称	Low cost corona pre-ionizer for a laser
摘要
申请公布号	EP0798823(B1)	申请公布日期	1999.03.31
申请号	EP19970101916	申请日期	1997.02.06
申请人	CYMER, INC.	发明人	WATSON, TOM A.
分类号	H01S3/03;H01S3/038;H01S3/0977;(IPC1-7):H01S3/038	主分类号	H01S3/03
代理机构		代理人
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