硬质圆盘的研磨方法及其研磨装置

摘要

一种均匀地研磨硬质的圆盘,同时抑制由于圆盘与研磨材料的摩擦所产生的静电,且能够防止因其摩擦热引起圆盘变形的硬质圆盘的研磨方法及其研磨装置。装载圆盘的转台设成自由旋转,设有大体呈水平状旋转且接触圆盘并进行研磨的研磨材料,转台设为相对研磨材料的旋转面可水平移动的形式,研磨材料的旋转轴相对圆盘表面的垂直方向稍向转台的中心侧倾斜,通过研磨材料与圆盘接触的摩擦力使转台沿着与研磨材料旋转方向相反的方向旋转,在将圆盘实质上接地的同时进行研磨。

主权项

1．一种硬质圆盘的研磨装置，所述硬质圆盘的研磨装置由装载圆盘且能自由旋转的转台、以及大体呈水平状旋转且与该圆盘接触并研磨其表面的研磨材料组成，其特征在于，相对于上述圆盘表面的垂直方向，上述研磨材料的旋转轴稍向转台的中心侧倾斜。