| 摘要 |
Bei einer Vorrichtung zum Beschichten eines scheibenförmigen Substrats (3, 3', ...) mit Hilfe der Kathodenzerstäubung, mit einer etwa kreiszylindrischen Transportkammer (7), und mit einer an die Transportkammer (7) angeschlossenen Vakuumpumpe (8) und mit einer von einer Platte (16) verschließbaren Öffnung (9) zum Ein- und Ausschleusen der Substrate (3, 3', ...) und mit einer die Kathode (10) enthaltenden Beschichtungskammer (11) und einem in der Transportkammer (7) rotierbar gelagerten Substratträger (12), ist der Substratträger (12) mit der Abtriebswelle (13) einer Motor-Getriebeeinheit (14) verbunden und zum einen von dieser innerhalb des Transportraums (19) aus einer mittleren Betriebsposition (A) in einer vertikalen Hubbewegung in eine obere Beschichtungsposition (B) und eine untere Ruheposition (C) verschiebbar und zum anderen von der Abtriebswelle (13) innerhalb des Transportraums (19) rotierbar, wobei der Saugstutzen (15) der Vakuumpumpe (8) am Bodenteil (4) des Transportraums (19) vom Substratträger (12) in der Ruheposition (C) verschließbar ist. <IMAGE>
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