发明名称 Integrated circuit testing
摘要
申请公布号 GB2329757(A) 申请公布日期 1999.03.31
申请号 GB19980013665 申请日期 1998.06.24
申请人 * NEC CORPORATION 发明人 KINICHI * IGARASHI
分类号 H01L21/66;G01R31/28;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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