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经营范围
发明名称
Integrated circuit testing
摘要
申请公布号
GB2329757(A)
申请公布日期
1999.03.31
申请号
GB19980013665
申请日期
1998.06.24
申请人
* NEC CORPORATION
发明人
KINICHI * IGARASHI
分类号
H01L21/66;G01R31/28;(IPC1-7):H01L21/66
主分类号
H01L21/66
代理机构
代理人
主权项
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