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发明名称 EQUIPMENT AND METHOD FOR RESIST COATING AND EQUIPMENT AND METHOD FOR RESIST DEVELOPMENT
摘要
申请公布号 JPH1187215(A) 申请公布日期 1999.03.30
申请号 JP19970240791 申请日期 1997.09.05
申请人 MATSUSHITA ELECTRON CORP 发明人 YANO KOSAKU
分类号 G03F7/16;B05C11/08;G03F7/30;H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 G03F7/16
代理机构 代理人
主权项
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