| 发明名称 |
Method of improving the diffusion barrier properties of gate oxides |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
SG63735(A1) |
申请公布日期 |
1999.03.30 |
| 申请号 |
SG19970002920 |
申请日期 |
1997.08.12 |
| 申请人 |
TEXAS INSTRUMENTS INCORPORATED |
发明人 |
HOLLOWAY, THOMAS, C. |
| 分类号 |
H01L29/78;H01L21/28;H01L21/318;H01L29/51;(IPC1-7):H01L21/28;H01L21/82 |
主分类号 |
H01L29/78 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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