发明名称 METHOD OF FORMING OXIDE FILM IN A SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR0172528(B1) 申请公布日期 1999.03.30
申请号 KR19950025868 申请日期 1995.08.22
申请人 HYUNDAI ELECTRONICS IND. CO.,LTD 发明人 HONG, BYUNG-SUB
分类号 H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/31 主分类号 H01L21/31
代理机构 代理人
主权项
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