| 发明名称 |
TEMPERATURE MEASUREMENT USING ION IMPLANTED WAFERS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR0164892(B1) |
申请公布日期 |
1999.03.30 |
| 申请号 |
KR19940029135 |
申请日期 |
1994.11.08 |
| 申请人 |
HUGHES AIRCRAFT CO . |
发明人 |
MCARTHUR, WARREN F.;SESSION, FRED C. |
| 分类号 |
G01K7/16;G01K7/22;H01L21/22;H01L21/265;H01L21/66;(IPC1-7):G01K7/16 |
主分类号 |
G01K7/16 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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