发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH1187410(A) 申请公布日期 1999.03.30
申请号 JP19970245864 申请日期 1997.09.11
申请人 TOSHIBA MICROELECTRON CORP;TOSHIBA CORP 发明人 TAKAKUBO YOICHI;YAMAZAKI AKIHIRO
分类号 H01L21/60;H05K3/30;H05K3/34;(IPC1-7):H01L21/60 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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