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发明名称 DAMPER APPARATUS OF WAFER CLEANING SYSTEM
摘要
申请公布号 KR0170725(B1) 申请公布日期 1999.03.30
申请号 KR19950066894 申请日期 1995.12.29
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 KIM, DUK-YONG
分类号 H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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