| 发明名称 |
PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR SUBSTRATE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH1187669(A) |
申请公布日期 |
1999.03.30 |
| 申请号 |
JP19980159555 |
申请日期 |
1998.06.08 |
| 申请人 |
DENSO CORP |
发明人 |
YAMAUCHI SHOICHI;SAKAKIBARA JUN;MATSUI MASAKI;ONODA KUNIHIRO;OSHIMA HISAZUMI |
| 分类号 |
H01L27/12;H01L21/02;H01L21/336;H01L29/786;(IPC1-7):H01L27/12 |
主分类号 |
H01L27/12 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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