发明名称 ANTIREFLECTION FILM MATERIAL COATING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH1187217(A) 申请公布日期 1999.03.30
申请号 JP19970241298 申请日期 1997.09.05
申请人 SONY CORP 发明人 ONUMA EIJU;IKEDA RIKIO
分类号 G03F7/11;B05C11/08;G03F7/16;H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 G03F7/11
代理机构 代理人
主权项
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